2022年8月，作为中国半导体产业新高地的无锡，又将迎来一条年产18万片的8英寸MEMS产线竣工。即便今年上半年江浙沪地区受到较为严重的疫情影响，在中电二公司等承包商的共同努力下，该项目建设仍然超预期完成。
这条8英寸MEMS产线位于无锡市新吴区星洲工业园区，由无锡物联网创新中心有限公司（下称：创新中心）发起建设。据了解，该创新中心是在无锡市政府主导下，联合先进芯片、传感器、存储器、网络通信、计算、系統集成、服务等物联网产业链上下游多家龙头企业与科研机构共同发起，于2018年7月 31日成立，注册资本 8.72 亿元。
图：无锡创新中心MEMS项目鸟瞰图
助力MEMS核心技术与标准化工艺发展
创新中心公司定位于建成物联网关键技术“策源地”、物联 网创新人才 “集聚区”、物联网公共服务 “示范点〞、物联网产业发展“推进器”，组织实施工业互联网关健共性技术开发和成果转移转化，联合创新平台开展行业应用，提供总体解决方案。
众所周知，物联网产业发展离不开海量的数据，而传感器则是数据采集的重要工具。数据显示,近几年,中国传感器市场连续保持两位数的增长,市场整体规模已接近1500亿人民币。
传感器市场中，又分为不同类型，其中MEMS传感器占据了整体传感器市场规模的一半以上。创新中心自建的这条8英寸MEMS产线，不仅将助力无锡打造具有国际国内影响力的先进感知产业基地，也对我国物联网产业发展带来重要影响。
图：无锡创新中心MEMS项目光刻区
中电二公司设计专家陆晶指出，MEMS产品需要设计研发和制造工艺紧密结合，工艺需要配合产品设计进行灵活调试。目前，全球头部MEMS玩家大多以IDM形式运营，自建工厂有助于它们不断打磨产品，保持自身领先的竞争力。而另一部分Fabless玩家则需要倚靠专业的晶圆代工厂，虽然工艺与设计的配合度不如前者，但轻资产运营也让他们拥有了一席之地。
对于无锡创新中心MEMS产线的建成，陆晶则表示，这同时有利于MEMS核心共性关键技术和标准化工艺的开发，在多方的配合下，有望组建一个兼顾研发技术、工艺开发和运营的强大团队，为我国高精度传感器产品提供一个协同的开发平台。
图：陆晶在项目现场考察
据了解，无锡创新中心的这条8英寸MEMS产线EPC项目交由同样总部在无锡的中电二公司施工建造。在后者的倾心努力下，该项目从今年2月正式开工，4月28日便开始设备搬入，6月配合业主完成投料时间，8月便整体完工。
要知道，今年上半年不仅新冠疫情影响物流和劳动力，局部地区战争以及全球遍地建厂还导致原材料和设备急缺，在如此艰难的大环境下，该项目还能超预期完工，这离不开中电二公司的鼎力支持。业主极其认可中电二公司项目团队的施工精神，拼搏奋斗精神，过年期间留守抢工，疫情期间项目封闭，全体项目人员以及工人吃住在项目一线进行赶工，抗疫施工两不误，为业主快速投产奠定了基础，交付了满意的答卷。
专业团队打造的专业产线
项目去年12月底中标后，中电二公司团队很快便利用专业和领先的BIM技术完成了施工图纸设计。然而，今年1月却又临时接到客户提出的重大工艺变更，需要重新进行设计和Layout布局变更，现场大部分工作无法开展，项目一度陷入停滞。不过，好在中电二公司过去在半导体领域拥有丰富的经验积累，很快便重新调整好设计布局，并对现场已施工部分完成拆改，为年后正式动工打下了夯实的基础。
图：无锡创新中心MEMS项目纯水站BIM设计及实景对比
春节后的第一天，该项目管理人员全部到岗，生产人员从40%到场开始不断增加，并在2月16日达到施工高峰期。项目经理高航表示：“当时的我们，怀着施工即赶工的心态，秉持‘精益求精、品质铸魂’的质量理念，在以安全可靠为前提的情况下，加快了项目建设进度，最终确保了工期按照合同约定完成。”
另外，在该项目的建设过程中还经历了上半年的上海新冠疫情、国际局部战争等不确定因素带来的巨大挑战。中电二公司采购体系的完备、资源整合能力的强大、技术能力的领先以及实施团队的完整，是迎接挑战的法宝。
图：防微振团队在项目现场进行防微振测试
上海疫情爆发期间，所有来无锡人员都要进行隔离，物流也一度被切断。建设团队很快便借助公司和政府力量，协调通道。采用车送+车接两趟倒形式接送货，货到高速口，叉车吊车前往高速口接货后，送货车辆原路返回，此举保障了大量原材料的供应。
为了追赶疫情影响下的施工进度，团队将设备运输至现场后，安装调试安排两班倒作业，缩短安装工期；材料设备生产完成后安排专车送至现场，缩短物流时间；现场按照设备接口尺寸提前预配，待设备缩短配管时间；提前安排调试人员到场，确保设备安装后第一时间调试运行。多举措并行之下，团队将无锡创新中心MEMS产线建设所受到疫情的影响降到了最低。
图：无锡创新中心MEMS项目酸碱排气处理系统
不过，除了新冠疫情以外，国际局部战争导致的部分原材料缺失也一度影响了该项目的推进。以P25隔膜泵为例，当时受到俄乌战争影响，这种材料的交期延长至了5月底，现场供液濒临停滞。团队凭借经验紧急启动了P15隔膜泵代替P25隔膜泵的备用方案供液，最终保证了业主建厂进度。
“原材料交期长、有价无市的情况在今年上半年已经屡见不鲜。积极寻求资源，帮助我们解决难题，凸显了中电二公司的担当。”业主如是说。
聚焦EPC，打造精品MEMS项目
无锡项目是无锡市政府自主投资的第一个MEMS产线项目，是MEMS国产替代的代表性项目之一。
中电二公司作为无锡的本地企业，同时肩负着推动工业建筑领域产业进步的使命，理应全力协助国内、协助无锡共同推进国产替代产业的落地。无锡项目的有效落地，代表着无锡本地在设计、建造、生产全产业化落地的自主能力，是中电二公司与无锡本地半导体建设企业的深度合作，项目的快速落地将给地方标志性项目落地足够的发展信息，中电二公司也从中总结和积累了宝贵的EPC建设经验。
图：无锡创新中心MEMS项目中控室
根据官方数据，2021年，无锡集成电路产业营业收入达1783.05亿元、增长25.5%，产业规模位居全国第二，为江苏建设集成电路第一强省提供了坚强支撑。
近年来，无锡聚力打造半导体产业链，围绕龙头企业集聚，建成一批专业产业园的同时，推动产业链上下游需求对接，形成了一条涵盖芯片设计、晶圆制造、封装测试、材料设备和支撑服务等领域的集成电路完整产业链闭环。
在无锡“芯”高地的这条闭环中，还有着中电二公司等一大批默默无闻的幕后建设者，他们虽然本身不在半导体产业，却也长期专注于为产业赋能，助力产业蓬勃发展。作为无锡的本地企业，中电二公司肩负着推动工业建筑领域产业进步的使命，将全力协助国内、协助无锡共同推进本土半导体产业的落地和腾飞。
