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普达特科技计划开展CVD设备业务

10月12日,普达特科技发布公告,本公司按计划开展CVD( 化学气相沉积 )设备业务,初步向该业务投放人民币1.4亿元。按计划,CVD产品的范围包括用于制造12吋晶片的多种先进热CVD设备,本公司预期该等CVD产品将于二零二四年进入商业生产阶段。

热CVD设备应用于半导体设备制造业薄膜沉积过程中,在该过程采用的产品中,发挥最关键的作用。根据市场研究机构资料,薄膜沉积设备占半导体设备总市场份额的18 %,于二零二一年的全球规模逾170亿美元。随着芯片技术不断进步及芯片结构复杂化,薄膜沉积设备市场于二零一七年至二零二零年的复合年增长率达11.2 % ,预期将维持增长 势头。作为最常用的薄膜沉积设备 ,CVD设备占薄膜沉积设备总市场份额的66 %( 即半导体设备总市场份额约10 % ),于二零二一年的全球市场规模逾110亿美元。

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